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韦森特（东莞）科技技术有限公司​
WEI SEN TE (DONGGUAN)SCIECE AND TECHNOLOGY CO.,LTD

打造机械设备行业探索者​


公司坚持“诚信经营，顾客至上”为满足顾客需求不断创新发展，使产品成为高性价比，高效率，高精度。携手公司内部及国外技术专家和技术骨干的集体智慧，研发更为完善的产品。​

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SMIF

SMIF

设备特点：
WST200 SMIF可以在90秒或更短的时间内将200mm晶圆从SMIFpod转移载到加工工位。该系统还可用于将晶圆装载到无SMIF环境中的加工工具中。

占地面积并小；并且独立运行。

带有末端执行器的可编程机械臂可以将晶圆倾斜到垂直位置，可容纳多种加工工具。 

WST200 SMIF都有多种工具接口选择:带有快速释放锁扣的接口板和独立的地板支架，可以在12分钟或更短时间内与任何加工工具重新连接。

专内置微型环境和气流控制系统有助于保护晶圆不受污染，同时机器人在SMIF和工具之间转移晶圆。

具有自动防故障装置的特性，包括Pod现有传感器，晶圆突出传感器，过载传感器，恒定力矩直流步进电机(带有编码器反馈)精确和可靠的运动控制 


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设备特点：
WST200 SMIF可以在90秒或更短的时间内将200mm晶圆从SMIFpod转移载到加工工位。该系统还可用于将晶圆装载到无SMIF环境中的加工工具中。

占地面积并小；并且独立运行。

带有末端执行器的可编程机械臂可以将晶圆倾斜到垂直位置，可容纳多种加工工具。 

WST200 SMIF都有多种工具接口选择:带有快速释放锁扣的接口板和独立的地板支架，可以在12分钟或更短时间内与任何加工工具重新连接。

专内置微型环境和气流控制系统有助于保护晶圆不受污染，同时机器人在SMIF和工具之间转移晶圆。

具有自动防故障装置的特性，包括Pod现有传感器，晶圆突出传感器，过载传感器，恒定力矩直流步进电机(带有编码器反馈)精确和可靠的运动控制